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          小型溅射仪

          简要描述:小型溅射仪郑州科探KT-Z1650PVD,能够在非导电或导电不良的样品上涂布金(Au),钯(Pd),铂(Pt)和金/钯(Au / Pd)的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜,使样品适用于扫描电子显微镜(SEM)分析。仪器结构紧凑,全自动控制,设计符合人体工程学,所得结果一致,可重复性高。

          • 产品型号:KT-Z1650PVD
          • 厂商性质:生产厂家
          • 更新时间:2023-03-24
          • 访  问  量:839
          详细介绍
          品牌??铺?/td>溅射气体根据需求气体
          样品台尺寸φ50mm控制方式触摸屏智能控制
          样品仓尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
          靶材材质金 铂 铜 银价格区间1-5万
          产地类别国产应用领域化工,电子

          一、公司背景介绍:  

          (1)郑州科探仪器设备是高质量定制物理气相沉积(PVD)系统的设计者和制造商,客户服务和售后服务出色。拥有7年以上真空和薄膜沉积技术经验。其研发团队在学界科学家和工程师的支持下,高度积极地开发新设计以满足客户的特殊要求。  

          (2)??铺降墓こ掏哦由杓坪椭圃斓淖榧细咧柿勘曜?。KT-Z1650PVD真空镀膜机已通过分销商销往许多大学和研究中心,并得到了很好的参考和反馈。  


          二、仪器描述:小型溅射仪郑州科探KT-Z1650PVD,能够在非导电或导电不良的样品上涂布金(Au),钯(Pd),铂(Pt)和金/钯(Au/Pd)的薄膜。在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜,使样品适用于扫描电子显微镜(SEM)分析。仪器结构紧凑,全自动控制,设计符合人体工程学,所得结果一致,可重复性高。  


          三、产品特点:  

          彩色触摸屏:数据输入简单快速。  

          通过触摸屏中直观检测数据和曲线;历史页面可显示历史涂层信息。  

          可控镀膜速率,可得到更精细的晶粒结构。  

          可手动或自动,根据时间或根据厚度进行溅射。  

          样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。  

          标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来好的喷金效果。

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          四、小型溅射仪郑州科探KT-Z1650PVD厂家供应技术参数:

          控制方式

          7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

          溅射电源

          直流溅射电源

          镀膜功能

          0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

          功率

          ≤1000W

          输出电压电流

          电压≤1000V  电流≤1A

          真空

          机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

          溅射真空

          ≤30Pa

          挡板类型

          电控

          真空腔室

          石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

          样品台

          可旋转φ62  (可安装φ50基底)

          样品台转速

          8转/分钟

          样品溅射源调节距离

          40-105mm

          真空测量

          皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa)

          预留真空接口

          KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口





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