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          磁控溅射仪

          简要描述:KT-Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜。

          • 产品型号:
          • 厂商性质:生产厂家
          • 更新时间:2022-05-12
          • 访  问  量:3553
          详细介绍
          品牌助蓝科技溅射气体详询
          样品台尺寸详询mm控制方式详询
          样品仓尺寸详询mm靶材尺寸详询mm
          靶材材质详询价格区间面议
          产地类别国产应用领域电子

                 KT-Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜。

                目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉   CVD供气系统   等离子清洗机   小型离子溅射仪   磁控溅射仪  石英管真空封口   半导体检测等。 主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。

                公司与国内高校,科研院所有多层次的合作关系,建有开放实验室,相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念,依靠严谨的技术研发能力,科学合理的生产工艺,精益求精的制造要求,全心全意做好产品质量和服务工作,科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

           

           

          控制方式

          7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

          溅射电源

          40KHz溅射电源

          镀膜功能

          0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

          大功率

          ≤1000W

          大输出电压电流

          电压≤1000V  电流≤1A

          极限真空

          机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

          溅射真空

          ≤30Pa

          挡板类型

          电控

          真空腔室

          石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

          样品台

          可旋转φ62  (大可安装φ50基底)

          样品台转速

          8转/分钟

          样品溅射源调节距离

          40-105mm

          真空测量

          皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa)

          预留真空接口

          KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口

           

           

           

           
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