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KT-1650PVD小型溅射仪使用指南

1、 所需配套设备：小型溅射仪，水冷机，真空泵，高纯氩气

2、 配套设备安装准备工作

水冷机： （此设备为选配配件）本公司配备水冷机型号 JZ-3000.进出水口接 口为 6mm 快插接头，配套 6 米透明 PU 管，外径 6mm 内径 4mm 加水 6 升。建 议加入纯水、去离子水，如没有条件加入自来水也可。

若自行准备水冷机，请匹配合适接头

安装方法：将设备背面进出水口连接设备背面进水口，公司标配 6m 透明 PU 管， 可根据现场实际情况进行裁剪。（设备背面接口无进出水口之分，可任意接）

真空泵：（此设备为选配配件）本公司所配备的是 8m3/h（2.2L/s），KF25 标准接口，及 1200mm 长波纹管。

若自行配备真空泵，请匹配合适大小接头及波纹管

安装步骤

把加油口打开，并将随货的一壶油全部倒入加油口（油量会超过最高刻度，属正 常现象），将出气口打开，可根据现场实际情况自行安装油雾过滤器或者出气管道排到室外 或者通风橱。注：出气口需保持畅通状态，不可堵塞 进气口连接波纹管，与溅射仪左侧真空挡板阀连接。

高纯氩气：小型溅射仪工作中需要用到高纯氩气，所以需要自行准备高纯 氩气。本公司配备的管道为外径 6mm 内径 4mm 聚四氟管道，请匹配合适的减 压阀及进气接头。设备进气压力为不大于 0.1MPa。

设备安装及准备工作：

将白色聚四氟管道如上图安装至设备背面进气口，并用扳手锁紧

配件安装：

靶材：直径 2 英寸，厚度 0.3mm-3mm

靶材的安装：

先分别取下屏蔽罩、靶材压环、靶材，将需要的靶材和靶材压环紧紧贴住， 用 3 颗螺丝错开锁紧压环，拧上屏蔽罩。屏蔽罩距离靶材压环距离 3mm 左右，

不可将屏蔽罩与靶材压环接触，以免造成设备短路

安装基底：

分别取下玻璃罩和样品台，将衬底固定到样品台上，固定好的样品水平放置在基底座上面，并且三个齿轮要相互咬合，最后放好玻璃罩，盖好上盖。

使用前检查：

1、检查水箱里面是否有水打开冷水机电源，检查水冷接口是否连接好，观察有没有漏水的现象 （正常情况不漏水一个月检查一次）

2、真空泵的油箱值是否在 min 和 max 之间（油有没有发黄，发黄说明油有杂质需要刚换），

3、氩气压力值是否在 0.1MPa 以下，

4、打开溅射仪电源，点击挡板打开按键，观察腔体内样品台是否旋转顺畅，如有卡顿及时按下挡板复位按键。

    溅射流程： 溅射操作前一定要打开水冷

顺时针关闭气体调节阀和放气阀，旋转真空泵手柄至最大值，打开真空泵开关，视线关注触摸屏上的真空度是否有变化，如果无变化，将手往下压住腔体密 封上盖（不要用力过大），再查看真空度直到下降至 2Pa 以下，旋钮气体调节阀 到稳定到 4Pa 左右，并保持 5 分钟使腔体内部充满氩气，开始溅射。

    手动模式：设置样品台转速在 0-8r/min，若不需要旋转可设置为 0，点击挡板复位按钮，使挡板遮挡基底。设置溅射电流，时间需要自己计时，溅射完成后，点击停止运行，并点击挡板停止旋转（此时不需要挡板复位）。如果想自己探索

溅射速率，及时记下溅射电流、电压、功率和时间。

    自动模式：预溅射 1：清除靶材上的杂质。预溅射 2：升温，稳定电流 设置预溅射时间和电流（T1 和 T2），然后设置沉积的时间和电流（T3）

溅射电流根据靶材不同设置电流不同，观察溅射电压和溅射功率的值，溅射 电压通常在 315V 以上，最好溅射效果在 330V-340V 范围内。（若电压上不去，

可将靶材拆下，用细砂纸打磨靶材背面和溅射靶材座，使他们良好接触（时间长

会氧化））

界面操作完成后，先关闭气体调节阀和真空泵手柄，再逆时针旋转放气阀，平衡内外气压，打开玻璃罩上盖，取出样品台，拿下样品。关闭水源、真空泵、溅射仪，最后关闭电源总开关。